更新時間:2024-08-05
日本INTECS鹵素光源裝置鹵素?zé)鬠IH-2D超高輝度検査用照明裝置(UIH-2D型)一般的に半導(dǎo)體ウエハーやマスクガラス等の目視検査で、傷やごみ、內(nèi)部異物や気泡を発見する為には熟練を要します。これらの検査を容易に行うために開発した裝置です。対象物(※1)に高輝度の光を照射することにより、チンダル現(xiàn)象を発生させて傷やゴミ、埃の付著、內(nèi)部の異物、気泡等を確認(rèn)することが出來ます。
品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保 |
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日本INTECS鹵素光源裝置鹵素?zé)鬠IH-2D
一般的に半導(dǎo)體ウエハーやマスクガラス等の目視検査で、傷やごみ、內(nèi)部異物や気泡を 発見する為には熟練を要します。これらの検査を容易に行うために開発した裝置です。 対象物(※1)に高輝度の光を照射することにより、チンダル現(xiàn)象を発生させて傷やゴミ、 埃の付著、內(nèi)部の異物、気泡等を確認(rèn)することが出來ます。
ランプ定格 | 100V 300W |
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設(shè)計照射徑と距離 | ランプ鏡筒先端から200mmでφ70mm |
高輝度 | 上記照射徑中央にて約40萬ルクス |
50萬ルクス時の照射徑 | 約φ60mm |
倍徑時距離と輝度 | 400mm 約10萬ルクス |
輝度偏差と可変幅 | 高輝度偏差:上限10%、下限20% 可変幅 10:1以上 |
高輝度ランプ壽命 | 75時間以上 |
半輝度ランプ壽命 | 1000時間以上 |
調(diào)光方式 | SCR制御(50/60Hz自動切り替え) |
ランプハウス內(nèi)冷卻 | ファンによる強制空冷方式 |
ランプハウス內(nèi)発熱監(jiān)視 | 約100℃を超えるとランプを強制消燈 |
ランプハウス冷卻保持(※1) | 有り |
電源 | AC100V セミトランス式 |
総重量 | 約9kg |
※1 ランプ保護(hù)の為、主電源スイッチをOFFにしてもランプハウス內(nèi)の溫度が約40℃以下になるまで
ファンによる冷卻を保持する機能
ランプ壽命について ?高輝度で75時間 ?半輝度で1000時間 輝度と照射面積について 輝度は照射面積に反比例します。 照射面積を必要低限に調(diào)整し、INTENSITY ノブにて必要輝度に調(diào)整することにより、ラ ンプ壽命を延ばすことが出來ます。 消耗品(別売り)について UIH-2D専用 100V 300W ダイクロックミラー形ハロゲンランプ 1 箱 10 個入 ヒューズ ミゼット型 5A 5 本入 を販売しております。