更新時間:2024-08-01
M-320XG真空計canon-anelvaクリスタルゲージ M-320XG(真空計)クリスタルゲージ M-320XG
品牌 | 其他品牌 | 貨號 | M-320XG |
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規(guī)格 | 1 | 供貨周期 | 一個月以上 |
主要用途 | 真空計 | 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,電氣 |
測量壓力范圍 | 1×10-2Pa |
M-320XG真空計canon-anelva
M-320XG真空計canon-anelva
可在從大氣壓到 1 x 10-2 Pa 的廣泛范圍內(nèi)進行高度可靠的測量。 由于晶體振蕩器的諧振阻抗根據(jù)壓力而變化,因此重現(xiàn)性更高,可以在大氣壓附近進行高穩(wěn)定性的測量。 它可用作壓力開關(guān),用于檢測腔室中的大氣壓力通風口,也可用于測量過程壓力
特征 測量范圍廣 從大氣壓到 1 x 10-2 Pa 范圍內(nèi)的測量具有出色的再現(xiàn)性。 安全性高 水晶真空計是一種沒有熱源(燈絲)的真空計。 緊湊且超輕 控制器只有手掌大小,僅重 200 克
用 各種真空裝置的粗加工壓力測量 各種過程的壓力測量 用于檢測腔室通風口等的壓力開關(guān)。 從大氣壓到10-2P*別的其他壓力測量
型 名 | M-320XG | |
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測定球 | XG-1クリスタルゲージヘッド(クリスタルゲージ専用) | |
測定圧力範囲 | 1×10-2Pa~大気圧 | |
Gas種選択 | N2、Ar、H2、Air | |
アナログ出力 (圧力信號) | DC 0-10V:デジットスイッチにより下記項目出力形式設定 ①Log出力 ②複合出力 ③リニア出力 フルスケール圧力レンジ選択可能(1×101、1×102、1×103、1×104、1×105Pa) | |
リモートI/O | INPUT | ①ガス種設定 2bit信號で切換 ②ゼロ點調(diào)整 ③ATM設定 |
OUTPUT | セットポイント出力2點 | |
セットポイント | 2點(フォトカプラ出力、ヒステリシス固定) デジットスイッチにより設定(SP1、SP2共仮數(shù)部、指數(shù)部) | |
動作環(huán)境 | 5℃~50℃(コントローラー含む) ゲージヘッドのみの耐熱溫度150℃MAX | |
ゼロ點調(diào)整 | PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調(diào)整 | |
フルスケール調(diào)整 | トリマーボリュームによる調(diào)整 | |
入出力コネクタ | Dsub 15P | |
表示 | LED 3ヶ(PWR/ALM???緑/赤の2色発光、SP1-Status???緑、SP2-Status???緑) | |
所要電力 | DC 22V~33V、(最大消費電力2W) | |
外形寸法(mm) | 72.5H×102W×44.5D(ゲージヘッド含まず) | |
質(zhì)量 | 200g(ゲージヘッド含まず) | |
センサー取り付けフランジ | NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等 |