canon-anelva M-311HG真空計(jì)

canon-anelva M-311HG真空計(jì)

 換能器真空計(jì)系列的離子計(jì)。離子規(guī)（熱陰極電離真空規(guī)）具有良好的重現(xiàn)性和線性，可測(cè)量寬范圍的壓力，是作為真空規(guī)的優(yōu)良特性。傳感器使用經(jīng)過驗(yàn)證的微型儀表（MG-2I 型）

 特征 壓力測(cè)量范圍廣 從 10-7Pa 到 10Pa，可以在不犧牲超高真空側(cè)特性的情況下測(cè)量超出濺射工藝的低真空區(qū)域。 高響應(yīng)模擬輸出 壓力值的模擬信號(hào)輸出確保100毫秒內(nèi)的高響應(yīng)性，也可用于過程壓力控制。 4種發(fā)射電流設(shè)置模式 可根據(jù)用途進(jìn)行選擇，例如在高壓區(qū)側(cè)使用時(shí)可提高燈絲壽命

 用 生產(chǎn)真空設(shè)備壓力測(cè)量 半導(dǎo)體濺射設(shè)備壓力測(cè)量 各種真空裝置 選項(xiàng) 可提供系列兼容指示器。 大型數(shù)字液晶顯示屏，一目了然，大大提高了操作性 根據(jù)應(yīng)用選擇1ch類型或3ch類型