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18511227625更新時間：2024-08-01
kdn京都電機器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源濺射用直流脈沖電源DC出力及びパルス出力が可能出力のパルス化により、異常放電を軽減
| 品牌 | 其他品牌 | 貨號 | SAT-56S |
|---|---|---|---|
| 規(guī)格 | 1 | 供貨周期 | 一個月以上 |
| 主要用途 | SAT-56D | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,電氣 |
| 電壓 | AC180V?AC480V |
kdn京都電機器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源
kdn京都電機器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源
スパッタリング用DCパルス電源
特征 可直流輸出和脈沖輸出 輸出脈沖減少異常放電 配備碳化硅器件 通過使用 SiC 元件實現(xiàn)理想的方波脈沖輸出 另外，裝置的模塊化實現(xiàn)了緊湊化和高效率化。 減少基板和陰極損壞 異常放電時高速關(guān)斷，減少電弧放電造成的損壞
內(nèi)部單元之間的同步 可以在內(nèi)部單元之間進行同步/異步選擇 可以控制同步和相移
| ラインナップ | SAT-56S | SAT-56D | |
|---|---|---|---|
| 入力仕様 | 入力電圧 | AC180V?AC480V | AC180V?AC480V |
| 相數(shù)?周波數(shù) | 3相3線 50/60Hz | 3相3線 50/60Hz | |
| 入力電流 | 40Amax | 20Amax | |
| 入力容量 | 12kW | 6kW | |
| 出力仕様 | 出力波形 | DC及び矩形波パルスの選択が可能 | DC及び矩形波パルスの選択が可能 |
| 接地 | プラス端子接地によるマイナス出力 | プラス端子接地によるマイナス出力 | |
| 定格電力 | 5kWmax×2 | 5kWmax | |
| 定格電圧 | -650Vmax | -650Vmax | |
| 定格電流 | 15.4Amax | 15.4Amax | |
| 制御方式 | 定電力?定電流?定電圧制御 | 定電力?定電流?定電圧制御 | |
| 出力精度 | 定電力?定電流?定電圧の各モードで、実測値が設(shè)定値の±1%以內(nèi) 若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方 | 定電力?定電流?定電圧の各モードで、実測値が設(shè)定値の±1%以內(nèi) 若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方 | |
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