更新時(shí)間:2024-07-30
HF-960M濃度監(jiān)測儀HORIBA堀場低濃度HF / HCl / NH3濃度監(jiān)測儀HF-960M總覽一次清洗和單晶片清洗的理想選擇低濃度,鹽酸和氨的高精度測量在半導(dǎo)體清潔過程中,隨著設(shè)備的發(fā)展和小型化,需要控制化學(xué)藥品以低濃度進(jìn)行RCA清潔。HF-960M使用具有出色耐腐蝕性的傳感器,并可以高速測量低濃度的,鹽酸和氨,使其非常適合單浴清洗和單晶片清洗。特征測量5種類
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保 |
總覽
一次清洗和單晶片清洗的理想選擇
低濃度,鹽酸和氨的高精度測量
在半導(dǎo)體清潔過程中,隨著設(shè)備的發(fā)展和小型化,需要控制化學(xué)藥品以低濃度進(jìn)行RCA清潔。
HF-960M使用具有出色耐腐蝕性的傳感器,并可以高速測量低濃度的,鹽酸和氨,使其非常適合單浴清洗和單晶片清洗。
特征
測量5種類型:HF濃度,HCl濃度,NH3濃度,電導(dǎo)率和溫度
在濃度測量范圍內(nèi)可以任意設(shè)置模擬輸出
配備7個(gè)觸點(diǎn)輸出點(diǎn)
配備三個(gè)變速箱輸出
製品名 | 低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ |
---|---|
型名 | HF-960M |
周囲溫度 | −5?45℃ |
相対濕度 | 20?85%(結(jié)露しないこと) |
保存溫度 | −25?65℃ |
電源 | 定格電圧 24V DC 10W(max) |
外形寸法 | 96(W)×96(H)×115(D) ケース奧行:約105mm(パネルマウント時(shí)) |
質(zhì)量 | 約550g |
適合規(guī)格 | CEマーキング、FCC Part15 |