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18511227625更新時間：2024-07-30
HORIBA堀場HF密度計HF-960EM用于半導體制造工藝的HF濃度計HF-960EMHF-960EM是使用帶有*潤濕部件的傳感器作為PFA的型號，并且符合半導體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限，實現(xiàn)了節(jié)省空間的安裝。提高穩(wěn)定性和重現(xiàn)性準確性，并支持高達50％HF濃度的寬量程。特征寬范圍設置，HF濃度高達50％高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度內置溫度測量傳感器支持高達80℃的HF樣品
| 品牌 | 其他品牌 | 密度溫度范圍 | 10℃ |
|---|---|---|---|
| 密度測量范圍 | 1g/cm3 | 最小取樣量 | 1ml |
| 密度精度 | 1g/cm | 價格區(qū)間 | 5千-1萬 |
| 檢測類型 | 測液體樣品 | 儀器類別 | 臺式 |
| 行業(yè)應用 | 通用密度計 | 儀器種類 | 真密度計 |
| 應用領域 | 環(huán)保 |
用于半導體制造工藝的HF濃度計HF-960EM
HF-960EM是使用帶有*潤濕部件的傳感器作為PFA的型號，并且符合半導體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限，實現(xiàn)了節(jié)省空間的安裝。提高穩(wěn)定性和重現(xiàn)性準確性，并支持高達50％HF濃度的寬量程。
特征
寬范圍設置，HF濃度高達50％
高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度
內置溫度測量傳感器支持高達80℃的HF樣品測量。 FS精度達到±0.5％。
自動量程功能
無污染/耐化學腐蝕傳感器
清潔結構的傳感器，僅使用PFA作為液體接觸材料。由于它是一種耐化學腐蝕的傳感器，因此可以用于測量半導體工藝中使用的各種化學物質。
小型輕巧的傳感器
與我們的傳統(tǒng)產品相比，尺寸縮小了2/3，并且重量進一步減輕。通過將其安裝在單晶圓噴嘴的前面，可以提高安裝空間的靈活性
型式 | HF-960EM |
|---|---|
測定レンジ | HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導電率: 0 - 2000 mS/cm |
繰り返し性 | フルスケールの+/- 0.5% 以內（等価入力にて） |
直線性 | フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以內（等価入力にて） |
伝送出力 | 出力點數(shù)：4點 |
接點出力 | 出力點數(shù)：5點 |
接點入力 | 入力點數(shù)： 2點 |
通信機能 | RS-485 |
電源 | DC 24 V +/- 10% 15W |
適合センサ | CM-520 Series |
接液部 | PFA |
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