日本三豐物鏡LCD Plan Apo NIR HR 50×

 LCD Plan Apo NIR HR
LCD Plan Apo NIR HR 50×(t0.7) 378-869-5 0.65 9.6 4 0.4 0.7 0.48 0.10×0.13 450
LCD Plan Apo NIR HR 100×(t0.7) 378-870-5 0.70 9.6 2 0.4 0.7 0.24 0.05×0.06 450

Mitutoyo三豐顯微鏡單元
日本三豐物鏡(紫外、近紫外、可視、近紅外)
用于半導體、電子、液晶相關(guān)等產(chǎn)品的生產(chǎn)
品質(zhì)管理系統(tǒng)、實驗研究裝置使用的光學系統(tǒng)
外觀檢查系統(tǒng)的嵌入式光學單元
微生物等運動物體的觀察 等
可安裝數(shù)碼相機，通過外部顯示器進行觀察和拍攝。
可實現(xiàn)橫向水平、上下顛倒等高自由度的固定方法。
與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。
★金屬、樹脂、印刷面等表面觀察拍攝
★微量流體分析用光學系統(tǒng)
★以觀察和分析細胞、微生物等為目的的光學系統(tǒng)

M Plan Apo NIR系列等支持紅外區(qū)的物鏡組合，可在紅外線下實
現(xiàn)可見光下做不到的非破壞性檢查。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度測量
★MEMS內(nèi)部的非破壞評價、三維安裝評價
★半導體封裝(IC)的內(nèi)部觀察、晶圓鍵合空洞評價傳感器
★紅外分光特性分析

日本三豐物鏡LCD Plan Apo NIR HR 50×
通過VMU-LB和固定倍率觀察用相機卡口的
組合，能夠?qū)ν晃恢靡圆煌堵释瑫r觀
察。
(低倍率側(cè)：2/3型、高倍率側(cè)：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物鏡組合，可實現(xiàn)高精度、高
品質(zhì)加工。
與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。
★保護膜、有機薄膜等的剝離
★金、鋁等金屬配線切割、下層圖案的外露
★FPD的各種缺陷修正
★光掩模修正
★標記、修剪、圖像形成、局部退火、劃線

憑借長動作距離設計的物鏡，實現(xiàn)優(yōu)異的操作性。
與定位器、探針臺等組合。
通過與激光加工裝置組合，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統(tǒng)。
此外，還提供支持隔著玻璃的、真空內(nèi)的外觀檢查的系統(tǒng)

 Z 軸電動型
■電動型測量顯微鏡MF-U系列
BF
(明視場)
型號MF-UJ2017D MF-UJ3017D MF-UJ4020D
貨號 176-894*1 176-895*1 176-896*1
BD 日本三豐物鏡LCD Plan Apo NIR HR 50×
(明視場/暗視場)
型號MF-UK2017D MF-UK3017D MF-UK4020D
貨號 176-897*1 176-898*1 176-899*1
目鏡 (可選) 帶屈光度調(diào)節(jié)10X (標準選件) (視場數(shù)：24)，15X，20X
物鏡(可選)
明視場 (BF) M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo系列
明視場/暗視場 (BD) BD Plan Apo, BD Plan Apo SL系列
影像AF *2 ?
工作臺
測量范圍200×170mm 300×170mm 400×200mm
快速釋放設置X Y軸
歸零鈕X Y軸
Z 軸
大工件高度220mm
進給方式電動 (大測量速度: 20mm/s)
測量精度 *3 (X和Y軸無負載) (2.2 + 0.02L)μm L: 測量長度 (mm)
數(shù)顯計數(shù)器
分辨力1/0.5/0.1μm可切換
顯示軸X, Y和Z
功能調(diào)零，方向轉(zhuǎn)換
*1 ： 為區(qū)分交流電源電纜，在貨號后加上以下后綴: A 適于 UL/CSA, D 適于 CEE, DC 適于 CCC, E 適于 BS, K 適于 KC, C 和無后綴適于
PSE。
*2 ： 另外需要Vision Unit 和圖像AF 電纜。
*3 ： 測量方法符合JIS B7153。
注：其它規(guī)格，參見J-7 頁。
• 改進了MF-U 系列電動型的可用性。新推出
的MF-UJ / UK 采用Z 軸電動方式，可以更輕
松地調(diào)整焦點并對重型工件進行測量。
• Vision Unit (選件) 能使影像自動對焦

實現(xiàn)了高精度的測量顯微鏡。(小顯示分
辨力0.01um)。
• 主機的前臺操作設計是基于UD(通用化設計)
的理念。
• 配備三軸電動前置控制手柄，這使傳統(tǒng)的顯
微鏡操作有了全新的變化，即使在快速運動
的過程中也能進行精細定位。
• 用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學
管路或帶內(nèi)置激光自動對
焦功能的光學管路，其觀
察方法多種多樣，提高了測
量工作的效率